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洁净房需求和工作范围

2022-07-23 02:59:16

洁净车间在一定空间范围内,排除空气中的颗粒物、有害气体、细菌等污染物,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度和气流、噪声振动和照明、静电控制在一定要求范围内的工程学科。洁净室专门设计的房间,无论外部气体条件如何变化,都具有保持原设置要求的清洁度、温度、湿度和压力的特点。这比湍流更准确描述了湍流净化室。湍流主要取决于雷诺数,洁净室主要受流速的影响,但如果选择效率高的过滤器顶部排气方式,即使流速很低,也会产生上述结果,因为它是突变流和不均匀流。因此,在这种情况下,不仅有紊流引起的混合,而且还有整个房间的大回流和漩涡。

具体工艺对温度的要求应在后面列出。洁净房作为一般原则,由于加工精度越来越精细,对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中,玻璃与硅片作为掩膜板材料的热膨胀系数的差异越来越小。直径100um硅片,温度升高1度,导致0.24um因此,须有线性膨胀,因此须有线性膨胀,±0.温度控制1度,湿度值一般较低,因为人们出汗后,会污染商品,洁净室,特别是害怕钠的半导体车间,这些车间不应超过25度。


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